产品中心
Professional Instrument Manufacturer
气体流量计/气体流量控制器
品牌:辰硕仪器
产品说明:
气体流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)和气体流量控制器(Mass Flow Controler缩写为MFC)用于对微小气体的流量进行精密测量和控制，是结合微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体流量仪表。主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点:针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计:且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能:本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性。可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域.气体流量计/流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。
其典型的应用场合包括:电子工艺设备，如扩散、氧化、分子来外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入，以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它各种类型的分析仪器.
微信扫一扫咨询:13309270981其典型的应用场合包括:电子工艺设备，如扩散、氧化、分子来外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入，以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它各种类型的分析仪器.
气体流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)和气体流量控制器(Mass Flow Controler缩写为MFC)用于对微小气体的流量进行精密测量和控制，是结合微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体流量仪表。主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点:针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计:且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能:本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性。可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域.气体流量计/流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备，如扩散、氧化、分子来外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入，以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它各种类型的分析仪器.
